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項(xiàng)目介紹

橢偏儀是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。由于測(cè)量精度高，適用于超薄膜，與樣品非接觸，對(duì)樣品沒有破壞且無需真空，因此它成為一種極具吸引力的測(cè)量?jī)x器。

測(cè)試能力：

1. 入射角：55°-90°；

2. 波長(zhǎng)范圍：190nm-2100nm；

3. 溫度范圍：室溫-600°C。

樣品要求

1. 樣品需要鏡面；

2. 樣品為薄膜；

3. 多層膜需要有陪片；

4. 長(zhǎng)寬>20mm，樣品的整體厚度＞1mm。

項(xiàng)目案列

常見問題

橢偏儀測(cè)試的光譜范圍如何選擇？

橢偏儀的光譜范圍在深紫外142nm到紅外33μm可選。光譜范圍的選擇取決于被測(cè)材料的屬性、薄膜厚度以及關(guān)注的光譜段等因素。例如，摻雜濃度對(duì)材料紅外光學(xué)屬性有很大的影響，因此需要能測(cè)量紅外波段的橢偏儀；薄膜的厚度測(cè)量需要光能穿透薄膜，到達(dá)基底，因此需要選取該材料的透明或部分透明光譜段；對(duì)于厚的薄膜，選取長(zhǎng)波長(zhǎng)更有利于測(cè)量。

橢偏儀測(cè)試適用于哪些材料？

適用于無機(jī)材料，樣品需要有一定透光性。

橢偏儀測(cè)試可以得到哪些參數(shù)？

膜厚、波長(zhǎng)-折射率曲線、波長(zhǎng)-消光系數(shù)曲線等。

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