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FIB-TEM樣品制備技術(shù)

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課程大綱：

1.樣品前處理

根據(jù)樣品導(dǎo)電性好壞確定是否需要噴金或噴鉑處理

2.樣品定位

通過(guò)E-Beam確定樣品的目標(biāo)位置

3.蒸鍍保護(hù)層

根據(jù)樣品成分選擇合適的材料在樣品的目標(biāo)區(qū)域蒸鍍保護(hù)層

4.U-Cut

將樣品的目標(biāo)區(qū)域四周刨掉，只留下U型目標(biāo)區(qū)域

5.提取樣品

將U-Cut后的樣品通過(guò)Easylift提取到載具上

6.樣品減薄

根據(jù)具體測(cè)試需求對(duì)樣品進(jìn)行減薄

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